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本发明提供了一种机械臂、晶圆传送系统及去胶设备，机械臂用于去胶设备的晶圆传送系统中，该系统包括旋转升降台及围绕旋转升降台环形分布的多个承载台，旋转升降台上环绕设置有多个连接脚，机械臂用于连接在连接脚上，待处理晶圆放置于相邻的两个机械臂之间；...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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