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本发明提供一种晶圆电镀设备的清洗方法及清洗设备，其中晶圆电镀设备的清洗方法包括：在晶圆电镀设备执行电镀工艺过程中，启动清洗设备以执行第一预备操作；在所述晶圆电镀设备暂停电镀工艺后，控制所述清洗设备执行第一清洗操作，以至少对所述晶圆电镀设备中...
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