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本发明提供一种利用多频电源的等离子体处理装置。所述等离子体处理装置包括：工艺腔室，包括彼此相向的第一电极及第二电极；第一等离子体生成单元，包括与所述工艺腔室流体连接的第一反应器、第一绕组及第二绕组；第一交流电源；以及第二交流电源，具有与所述...
该专利属于新动力等离子体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新动力等离子体株式会社授权不得商用。

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