温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种将材料沉积至非平面表面上的方法。该方法通过在非平面衬底沿着加工腔的平移路径移动时旋转该非平面衬底来实施。在非平面衬底沿加工腔旋转并同时移动时，该旋转将该非平面衬底的全部表面区域或任意期望的表面区域部分暴露于沉积加工，从而实现...
该专利属于索林塔有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过索林塔有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。