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本发明公开了一种电子级氧化铪及其制备方法和应用,涉及高介电常数材料技术领域,制备方法包括以下步骤:将粉碎之后的粗氧化铪与石墨粉进行氯化反应,制得粗四氯化铪;将粗四氯化铪采用熔盐提纯方法和/或氢化提纯方法进行提纯,制得高纯四氯化铪;将高纯四氯...该专利属于四川晶赫新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川晶赫新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种电子级氧化铪及其制备方法和应用,涉及高介电常数材料技术领域,制备方法包括以下步骤:将粉碎之后的粗氧化铪与石墨粉进行氯化反应,制得粗四氯化铪;将粗四氯化铪采用熔盐提纯方法和/或氢化提纯方法进行提纯,制得高纯四氯化铪;将高纯四氯...