温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了光学检测技术领域的一种直线导轨运动直线度测量装置及方法，包括安装于光学平台上的直线导轨、分光镜、聚光镜、PSD‑A、PSD‑B和数据处理设备，所述直线导轨的移动部上安装有激光器，所述PSD‑A和PSD‑B均通过四维调整架安装在光...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。