一种直线导轨运动直线度测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了光学检测技术领域的一种直线导轨运动直线度测量装置及方法，包括安装于光学平台上的直线导轨、分光镜、聚光镜、PSD‑A、PSD‑B和数据处理设备，所述直线导轨的移动部上安装有激光器，所述PSD‑A和PSD‑B均通过四维调整架安装在光学平台上，所述数据处理设备分别与PSD‑A和PSD‑B电性连接，所述激光器沿移动部运动方向发出激光束，所述分光镜将激光束分为互相垂直的两束激光，其中一束直接射向PSD‑A且另一束经聚光镜聚焦后射向PSD‑B，所述数据处理设备基于PSD‑A和PSD‑B的采集数据测量导轨直线度。本发明专利技术测量精度高、操作简单、效率高，适用于高精度导轨检测，尤其在精密制造和高端设备质量控制中具有显著优势。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种直线导轨运动直线度测量装置及方法，属于光学检测。

技术介绍

1、导轨直线度测量在机械加工、制造业、自动化生产线等领域中具有重要意义，尤其是在精密机械设备、数控机床、自动化装配线等高精度要求的应用中。导轨作为设备的基础元件之一，它的直线度对设备的精度、稳定性以及使用寿命具有直接影响。因此，准确测量导轨的直线度，对于确保设备的精度和性能至关重要。

2、导轨直线度测量作为机械设备精度控制中的关键环节，随着技术的不断进步，测量方法和技术也在不断更新。现有导轨直线度测量方法，如机械式测量精度仅为0.01mm，且操作复杂，测量效率低，而光学干涉测量虽精度较高，但对环境要求苛刻，难以应用于工业现场。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种直线导轨运动直线度测量装置及方法，通过激光和psd的结合，可实现微米级精度测量，且操作简便、适应性强。

2、为达到上述目的，本专利技术是采用下述技术方案实现的：

3、第一方面，本专利技术提供了一种直线导轨运本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直线导轨运动直线度测量装置，其特征是，包括安装于光学平台上的直线导轨(1)、分光镜(3)、聚光镜(4)、PSD-A(7)、PSD-B(8)和数据处理设备，所述直线导轨(1)的移动部上安装有激光器(2)，所述PSD-A(7)和PSD-B(8)均通过四维调整架安装在光学平台上，所述数据处理设备分别与PSD-A(7)和PSD-B(8)电性连接，所述激光器(2)沿移动部运动方向发出激光束，所述分光镜(3)将激光束分为互相垂直的两束激光，其中一束直接射向PSD-A(7)且另一束经聚光镜(4)聚焦后射向PSD-B(8)，所述数据处理设备基于PSD-A(7)和PSD-B(8)的采集数据测量导轨...

【技术特征摘要】

1.一种直线导轨运动直线度测量装置，其特征是，包括安装于光学平台上的直线导轨(1)、分光镜(3)、聚光镜(4)、psd-a(7)、psd-b(8)和数据处理设备，所述直线导轨(1)的移动部上安装有激光器(2)，所述psd-a(7)和psd-b(8)均通过四维调整架安装在光学平台上，所述数据处理设备分别与psd-a(7)和psd-b(8)电性连接，所述激光器(2)沿移动部运动方向发出激光束，所述分光镜(3)将激光束分为互相垂直的两束激光，其中一束直接射向psd-a(7)且另一束经聚光镜(4)聚焦后射向psd-b(8)，所述数据处理设备基于psd-a(7)和psd-b(8)的采集数据测量导轨直线度。

2.根据权利要求1所述的直线导轨运动直线度测量装置，其特征是，所述激光器(2)的波长为632.8nm±10nm，功率为5mw±2mw，发散角≤1mrad。

3.根据权利要求1所述的直线导轨运动直线度测量装置，其特征是，所述分光镜(3)的分光比为50:50至80:20。

4.根据权利要求1所述的直线导轨运动直线度测量装置，其特征是，所述聚光镜(4)的焦距f满足：

5.根据权利要求1所述的直线导轨运动直线度测量装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：李世杰，鲁悦，马贝，樊家琦，黄岳田，马少平，刘丙才，王红军，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：