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本发明提供一种键合晶圆的退火方法，先执行升温处理，以将炉管设备从第一温度以设定升温速率升温至目标温度，并在升温至目标温度时向炉管设备内通入氢气，且保持预设时间后将炉管设备内的氢气排出；执行降温处理，以将炉管设备从目标温度以设定降温速率降温至...
该专利属于上海新傲芯翼科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新傲芯翼科技有限公司授权不得商用。

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