下载研磨液、研磨液套剂、研磨方法以及缺陷抑制方法的技术资料

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一种研磨液,含有:包含从由氧化铈和氧化硅构成的群中选出的至少一种的磨粒、含氮化合物和水,所述含氮化合物含有从由以下化合物构成的群中选出的至少一种:(I)具有环内含1个氮原子的芳香环和羟基的化合物、(II)具有环内含1个氮原子的芳香环和含氮原...
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