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本发明涉及微纳制造技术领域，提供一种集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具及装置，通过将作用于整个电铸液系统的兆声振动直接作用于阴极片，实现对铸层性能的调控，并利用振动生热的特性，实现精准的自加热以降低对电铸液加热要求，实现对能源的高效利用...
该专利属于中南大学所有，仅供学习研究参考，未经过中南大学授权不得商用。

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