【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微纳制造，尤其是一种集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具及装置。
技术介绍
1、精密电铸技术，即利用电化学沉积的方法成型具有表面微结构的金属零件，其复制精度高、可一次成型含复杂特征的表面，且不受加工材料硬度、韧性的限制。精密电铸过程中，电沉积主要在阴极表面进行，阴极表面的温度场、流场、电场分布等直接影响到模芯的成型质量，不当的电铸参数会导致模芯产生多种质量问题，如模芯翘曲、表面针孔、边缘积瘤等。
2、传统的电沉积过程中，例如中国专利cn108018584b，公开了一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法，通过将整个阴极板固定于搅拌机构并悬置入兆声铸槽，通过对整个电铸槽（包括电铸液、阴极、阳极部件）进行加热的方式，实现对阴极表面的温度控制，在电铸区域引入兆声振动系统，能有效减少电铸缺陷，有利于成型具有良好形貌、外观，且力学性能优异的精密金属器件。
3、但如前所述，电沉积主要发生在阴极表面，对整个电铸区域，尤其是大容量的电解液进行加热和兆声振动，不仅造成能源的极大浪费，而且由于兆声振动在电铸液中传递的...
【技术保护点】
1.一种集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，包括上阴极盖板、下阴极盖板、阴极组件以及密封组件，所述阴极组件和所述密封组件均设于所述上阴极盖板和所述下阴极盖板之间；其中：
2.根据权利要求1所述的集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，所述阴极导线通过导电组件和所述阴极片连接，所述导电组件包括导电件和导电铜片；其中，所述导电件置于所述第一安装槽的外侧并和所述上阴极盖板连接，所述导电铜片包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述导电件连接，所述第二连接部和所述阴极片连接。
3.根据权利要求2所述的集成兆声振动贴片的...
【技术特征摘要】
1.一种集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，包括上阴极盖板、下阴极盖板、阴极组件以及密封组件，所述阴极组件和所述密封组件均设于所述上阴极盖板和所述下阴极盖板之间；其中：
2.根据权利要求1所述的集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，所述阴极导线通过导电组件和所述阴极片连接，所述导电组件包括导电件和导电铜片；其中，所述导电件置于所述第一安装槽的外侧并和所述上阴极盖板连接，所述导电铜片包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述导电件连接，所述第二连接部和所述阴极片连接。
3.根据权利要求2所述的集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，所述上阴极盖板的底面凸设有多个环绕所述第一安装槽的定位凸柱，所述第一连接部和所述第二连接部之间开设有和所述定位凸柱一一对应布设的定位孔，所述定位凸柱插入至对应的定位孔，所述导电件位于所述定位凸柱的外侧，所述阴极片位于所述定位凸柱的内侧，且所述阴极片的外侧壁和所述定位凸柱的内侧壁匹配设置。
4.根据权利要求2所述的集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，所述导电件包括导电圈和t型连接端子，所述t型连接端子连接在所述导电圈的外侧壁，所述阴极导线和所述t型连接端子连接。
5.根据权利要求4所述的集成兆声振动贴片的自加热式电铸阴极夹具，其特征在于，所述上阴极盖板的底面还开设...
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