温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明一种新型Piston制造工艺，属于滤波器件领域，具体工艺如下：步骤S1、提供衬底并清洗，为后续光刻做准备；步骤S2、IDT光刻胶涂布、曝光、显影，PR胶呈现对应叉指形貌；步骤S3、沉积IDT金属层；步骤S4、在IDT金属层上，继续进行...
该专利属于北纬三十八度集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北纬三十八度集成电路制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。