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一种碎裂碳化硅晶锭修复方法技术
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文档序号:46094311
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本发明公开了一种碎裂碳化硅晶锭修复方法,包括:将多片碳化硅碎片拼接形成整体的碳化硅晶锭,先采用液相诱导愈合工艺促使宏观裂纹开口愈合,之后采用原位气相渗透工艺填充裂纹周围的微观孔隙,实现碎裂碳化硅晶锭的裂纹修复。以上提供的碎裂碳化硅晶锭修复方...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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