下载一种碎裂碳化硅晶锭修复方法的技术资料

文档序号:46094311

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种碎裂碳化硅晶锭修复方法,包括:将多片碳化硅碎片拼接形成整体的碳化硅晶锭,先采用液相诱导愈合工艺促使宏观裂纹开口愈合,之后采用原位气相渗透工艺填充裂纹周围的微观孔隙,实现碎裂碳化硅晶锭的裂纹修复。以上提供的碎裂碳化硅晶锭修复方...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。