温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种用于软磁合金的化学机械抛光液及抛光方法，抛光液由下列重量百分比的原料组分组成：螯合剂1.3wt％～1.8wt％、磨料10wt％～13wt％、pH缓冲剂7wt％～9wt％、缓蚀剂3wt％～3.5wt％、氧化剂11wt％～13w...
该专利属于新昌县天姥实验室所有，仅供学习研究参考，未经过新昌县天姥实验室授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。