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本申请提供了一种等离子体系统级使用该系统的等离子体阵列系统，其包括至少两个电源模块、匹配网络模块、等离子体处理室、数据处理和控制模块；电源模块用于生成第一电源信号；电源模块均与匹配网络模块电连接，并输送至少一个所述第一电源信号到适应网络模块...
该专利属于通快许廷格两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过通快许廷格两合公司授权不得商用。

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