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本技术公开了一种高效精准的半导体芯片测厚设备,其包括:测试机构包括测试台、上激光传感器和下激光传感器,测试台上设置有测试槽,上激光传感器设置在测试槽的上方,下激光传感器设置在上激光传感器的正下方;上料机构,其设置在测试台的一侧;定位机构,定...该专利属于扬帆半导体(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬帆半导体(江苏)有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种高效精准的半导体芯片测厚设备,其包括:测试机构包括测试台、上激光传感器和下激光传感器,测试台上设置有测试槽,上激光传感器设置在测试槽的上方,下激光传感器设置在上激光传感器的正下方;上料机构,其设置在测试台的一侧;定位机构,定...