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本发明公开了一种半导体清洗设备的智能控制方法，涉及智能控制半导体清洗技术领域，利用图像采集模块，实时采集半导体表面的图像数据，基于图像数据，并利用图像数据处理模块，依次计算输出第i区域清洗程度初步分配值Qi、第i区域清洗液浓度NDi、第i区...
该专利属于无锡沃尼克半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡沃尼克半导体科技有限公司授权不得商用。

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