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本发明提供一种减少膜面熏蚀的真空干燥设备及方法，设备包括工艺腔、真空系统和可开合的溶剂隔离装置；所述工艺腔中设置有用于安放待干燥产品的载物平台；所述真空系统与所述工艺腔连通，用于对所述工艺腔抽取真空；所述溶剂隔离装置用于在所述待干燥产品中的...
该专利属于仁烁光能（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过仁烁光能（苏州）有限公司授权不得商用。

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