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本技术涉及真空升华炉技术领域，尤其涉及快速降温的真空升华炉，包括真空升华炉本体，所述真空升华炉本体的底部设置有用于初步降温的冲氮管，所述真空升华炉本体的外壁设置有用于再次降温的第一降温管道和第二降温管道。本技术在使用时，在温度降到400℃以...
该专利属于山东孚日鸿硅新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东孚日鸿硅新材料科技有限公司授权不得商用。

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