下载功率半导体器件的技术资料

文档序号:46069231

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提供了一种功率半导体器件,包括:第一沟槽,其从半导体层的表面沿第一方向凹入至所述半导体层中,并且沿与所述第一方向不同的第二方向延伸;源极接触区,与所述半导体层的表面接触,并且在所述第二方向上与所述第一沟槽间隔开;源极区,与所述源极接触区和第...
该专利属于现代摩比斯株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过现代摩比斯株式会社授权不得商用。

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