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一种制造金属氮化物薄膜的方法，通过至少一原子层沉积循环所执行。每一原子层沉积循环先执行关于金属元素的至少一个半循环，于每一个半循环中，先供应包含金属元素的前驱物至反应腔体内，再选择性地供应冲洗气体至该反应腔体内，其中元件置于反应腔体内。随后...
该专利属于陈敏璋所有，仅供学习研究参考，未经过陈敏璋授权不得商用。

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