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本申请提供一种MEMS谐振器及MEMS集成产品，该MEMS谐振器包括锚固部及连接于锚固部的振动臂；振动臂包括质量梁和弹性梁，质量梁的相对两侧分别设有复合型齿部，复合型齿部包括沿第一轴线方向排列的第一齿形部和第二齿形部，质量梁和弹性梁均沿所述...
该专利属于觉芯电子（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过觉芯电子（无锡）有限公司授权不得商用。

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