下载光学测量装置、光学测量系统及光学测量方法的技术资料

文档序号:46063429

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本发明提供一种光学测量装置、光学测量系统及光学测量方法,包括:第一光路调控模块、第二光路调控模块、光路传输模块、光学测量模块及光学成像模块;首先,光学成像模块通过第二光路调控模块到达量测点,量测点反射的成像光信号经由第二光路调控模块和第一光...
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