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江苏泊苏系统集成有限公司
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一种光刻机专用防微震基座制造技术
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下载一种光刻机专用防微震基座的技术资料
文档序号:46061756
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本发明涉及光刻机基座技术领域,公开了一种光刻机专用防微震基座,包括:两个水泥基座,还包括:第一水泥壳,位于水泥基座一侧;第一隔离模块,位于第一水泥壳内;下面板,固定在第一水泥壳上方;加筋板件,固定在下面板上方,用于起到支撑的作用;上面板,固...
该专利属于江苏泊苏系统集成有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏泊苏系统集成有限公司授权不得商用。
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