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一种阶梯式电极的薄膜铌酸锂电光调制器制造技术
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下载一种阶梯式电极的薄膜铌酸锂电光调制器的技术资料
文档序号:46061679
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本发明涉及光纤通信技术领域,具体涉及一种阶梯式电极的薄膜铌酸锂电光调制器,包括衬底、缓冲层、光波导、金属电极和过渡层;光波导为X或Y型切割LN薄膜,采用传统的脊状结构,光波导粘接在衬底上的厚SiO2缓冲层上,薄膜可以通过多种工艺制备,如离子...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。
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