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一种类石墨碳薄膜及其制备方法和应用技术
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文档序号:46061626
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一种类石墨碳薄膜及其制备方法和应用,所述类石墨碳薄膜为不含氢的类石墨碳薄膜,包括位于基底表面的增强层和位于所述增强层上的类石墨碳工作层,所述增强层包括位于基底表面的Cr打底层和位于Cr打底层上的Cr/C梯度过渡层;所述类石墨碳工作层中掺杂金...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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