下载半导体测试机台的散热装置、控制系统及方法的技术资料

文档序号:46049363

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本发明公开了一种半导体测试机台的散热装置、控制系统及方法,其中三染装置包括支撑臂,支撑臂的内部为中空结构设计,支撑臂的两侧外壁上均开设有若干等间距线性分布的定位孔,支撑臂的内部伸缩活动连接有伸缩臂,伸缩臂的底端两侧外壁上固定安装有弹簧凸钮,...
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