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本发明公开了一种机械激励的MEMS扭转疲劳断裂测试结构以及试验方法，该测量结构包含MEMS工艺悬臂结构、MEMS工艺双固结构、MEMS工艺双固热应力结构三种不同结构形态。该测量结构包含衬底、隔离层、锚区、支撑梁和质量块构成，其中支撑梁起到支...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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