下载干涉反射显微镜及分析一样本的方法的技术资料

文档序号:46046903

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本发明涉及一种干涉反射显微镜,其采用空间相干、时间非相干的光源进行操作。由此,可以避免散斑图案的形成,并且不再需要用于滤除此类散斑图案的滤光片。本发明还涉及一种相关方法。...
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