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晶圆图的生成方法、装置、存储介质及设备制造方法及图纸
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文档序号:46042625
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一种晶圆图的生成方法、装置、存储介质及设备。所述方法包括:获取晶圆上各个晶粒对应的晶粒失效比特测试结果文件;所述晶粒失效比特测试结果文件包含所测试晶粒在晶圆上的物理位置信息;基于所述晶粒失效比特测试结果文件,生成晶圆图。采用上述方案,可以高...
该专利属于浙江创芯集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江创芯集成电路有限公司授权不得商用。
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