温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统及方法，涉及半导体技术领域。本发明包括：照明光源组件，用于提供激光束；扩束整形组件，扩束整形组件用于对照明光源组件提供的激光束进行扩束与整形，得到方形条状光斑照射到晶圆表面；螺旋运动控制组件，...
该专利属于合肥市纳诺半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥市纳诺半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。