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本发明提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用接口接收信息，其中所述信息与减量系统相关；及响应于该信息关闭工艺工具及减量工具。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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