用于减量系统的有效操作的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用接口接收信息，其中所述信息与减量系统相关；及响应于该信息关闭工艺工具及减量工具。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子器件制造系统，更具体地，涉及用于减量系统的有效操作 的方法与装置。
技术介绍
电子器件制造工艺工具(此后以工艺工具代表)传统上采用腔室或其它 适于进行工艺(例如化学气相沉积、外延硅生长与蚀刻等)的合适设备来制造电 子器件。该些工艺可能产生流出物，而流出物则含有不利、有害且/或危险的 作为工艺副产物的化学物质。现有的电子器件制造系统可使用减量设备以处理 或减少流出物。传统减量工具与工艺采用各种原料(例如燃料、试剂、水与电力等)以处理 流出物。该些减量工具通常在其所处理的流出物的极少的信息下进行操作。据此，传统减量工具未最佳地(sub-optimally)使用原料。未最佳地使用原料可能 成为制造设备中不利的成本负担。此外，未最佳使用原料的减量工具则可能更 需经常维修。据此，仍待开发出经改良的用以减量流出物的方法与设备。
技术实现思路
本专利技术的第一方面，提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列 步骤利用接口接收信息，其中该信息与减量系统相关；以及响应于该信息关 闭工艺工具及减量工具。本专利技术的第二方面，提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列 步骤利用接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作电子器件制造系统的方法，包含：　利用接口接收信息，其中所述信息关于减量系统；以及　响应于所述信息关闭工艺工具及减量工具。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-5-25 60/931,7311.一种操作电子器件制造系统的方法，包含利用接口接收信息，其中所述信息关于减量系统；以及响应于所述信息关闭工艺工具及减量工具。2. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于燃料流量。3. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于试剂流量。4. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于冷却剂流量。5. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于有害或无法接受的无效 减量的情形。6. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述减量工具的温度。7. 如权利要求l所述的方法，其中所述信息关于所述减量工具的压力。8. 如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述接收流出物与减量 原料的至少其中一者的减量工具，其中所述接收产生有害或无法接受的无效减 量的情形。9. 如权利要求1所述的方法，其中所述接口使所述工艺工具与所述减量 工具关闭。10. —种操作电子器件制造系统的方法，包含 利用接口接收信息，其中所述信息关于电子器件工艺工具；以及 响应于所述信息将减量工具设成闲置模式。11.如权利要求10所述的方法，其中所述信息还...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔O克拉克，罗伯特M韦尔穆伦，尤塞夫A罗德杰，贝琳达弗利波，梅兰莫莱姆，肖恩W克劳福德，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]