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本申请提供了用于等离子体反应腔室的电加热器、等离子体反应腔室。该用于等离子体反应腔室的电加热器，其包括电热丝、薄膜层和压覆部。电热丝嵌入于薄膜层中，薄膜层用于放置于等离子体反应腔室的介质窗的顶面；压覆部被配置成至少能将薄膜层的边缘压抵于介质...
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