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本发明公开一种高精度温控洁净室缓冲区宽度的计算方法，针对有高精度温控需求的洁净室，为缓冲区宽度的计算和实施提供了一定参考；该方法包括如下操作；1.建立洁净室物理模型；2.简化传热过程；3.分步计算流程。本发明具有如下优点：洁净室核心区发热量...该专利属于信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司授权不得商用。