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一种半导体晶圆的脱胶装置制造方法及图纸
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下载一种半导体晶圆的脱胶装置的技术资料
文档序号:45976364
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本技术公开了一种半导体晶圆的脱胶装置,包括设备箱以及固定安装在设备箱上端面的加工壳,所述加工壳包括顶壳部和配合壳,所述配合壳一体成型设置在顶壳部的前端,且配合壳的内部固定安装有若干紫外灯,所述设备箱和配合壳之间还安装有作业台,所述作业台与设...
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