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本申请公开一种对位检测方法及对位检测装置、存储介质，其中对位检测方法包括：根据一次对位后的多张样品图像获得模板图像；筛选出模板图像中对应梯度值位于第一区间内的第一像素点；第一区间根据模板图像中像素点的梯度值确定；根据当前样品图像的差分对比信...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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