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本发明公开了一种固端梁‑悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用。所述压电MEMS扬声器包括基底、上电极、压电层、下电极和振动膜，在所述基底上依次设置上电极、压电层和下电极，在所述上电极、压电层和下电极上刻蚀形成所述振动膜，以及环绕于振...
该专利属于天津理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津理工大学授权不得商用。

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