一种固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种固端梁‑悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用。所述压电MEMS扬声器包括基底、上电极、压电层、下电极和振动膜，在所述基底上依次设置上电极、压电层和下电极，在所述上电极、压电层和下电极上刻蚀形成所述振动膜，以及环绕于振动膜周围的刻蚀间隙；本发明专利技术的固端梁‑悬臂梁式压电MEMS扬声器的振动位移很大，主要归结于固端梁振动位移和悬臂梁振动位移的叠加。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及扬声器，具体来说涉及一种固端梁-悬臂梁式压电mems扬声器及其制备方法与应用。

技术介绍

1、扬声器是将电信号转换为声音信号的换能器，广泛存在于生活中的方方面面。mems(micro-electro-mechanical systems)技术的快速发展，使得压电mems扬声器逐渐趋向于微型化、集成化、轻量化、低功耗，并使得其有可能成为传统扬声器的潜在替代品。

2、压电mems扬声器是基于压电材料的逆压电效应实现机械振动，从而推动空气振动并产生声压输出，且具有微型化、集成化、低功耗和高声压级等优势。一般来说，zno、aln、alscn和pzt等压电材料均可以用于制备压电扬声器。pzt压电材料因其具有较高的压电常数和机电耦合系数而成为应用最广泛的一种压电材料。然而，压电mems扬声器面临着振动膜的振动位移较小的问题。

3、现有技术中，haoran wang,zhenfang chen等人在sensors and actuators a:physical撰写了“a high-spl piezoelectric mems lo本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器，其特征在于，包括基底、上电极、压电层、下电极和振动膜，在所述基底上依次设置上电极、压电层和下电极，在所述上电极、压电层和下电极上刻蚀形成所述振动膜，以及环绕于振动膜周围的刻蚀间隙；

2.根据权利要求1所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述背部腔与所述振动膜上下对应。

3.根据权利要求1所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述悬臂梁单元的形状为半圆形、正方形和长方形中的一种或多种；所述悬臂梁单元为一条、两条、三条、十字交叉或者三交叉。

4.根据权利要求1所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述步骤1中，...

【技术特征摘要】

1.一种固端梁-悬臂梁式压电mems扬声器，其特征在于，包括基底、上电极、压电层、下电极和振动膜，在所述基底上依次设置上电极、压电层和下电极，在所述上电极、压电层和下电极上刻蚀形成所述振动膜，以及环绕于振动膜周围的刻蚀间隙；

2.根据权利要求1所述的压电mems扬声器，其特征在于，所述背部腔与所述振动膜上下对应。

3.根据权利要求1所述的压电mems扬声器，其特征在于，所述悬臂梁单元的形状为半圆形、正方形和长方形中的一种或多种；所述悬臂梁单元为一条、两条、三条、十字交叉或者三交叉。

4.根据权利要求1所述的压电mems扬声器，其特征在于，所述步骤1中，所述基底为soi晶圆、金刚石、蓝宝石、柔性基底、金属基底或非金属基底；所述非金属基底为云母片、pdms，pe或pi的柔性材料基底；所述下电极和上电极的材料均为pt、ti、au、ag、cr和al中的一种或多种的混合。

5.根据权利要求1所述的压电mems扬声器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王淇，李昱江，邵冠宗，赵金石，高世伦，桑丽娜，刘振，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：