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本发明提供一种炉管的工艺方法，包括：提供多个产品晶圆；将所述多个所述产品晶圆放入炉管的反应腔，在所述产品晶圆的表面形成膜层，相邻所述产品晶圆之间预留间隙槽；获取多个所述产品晶圆表面的所述膜层的厚度；根据各所述产品晶圆表面的所述膜层厚度，在与...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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