下载一种单晶炉的技术资料

文档序号:45955252

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术适用于单晶硅制造技术领域,提供了一种单晶炉,包括:埚体,能够在驱动件驱动下做升降运动;多个加热结构,沿竖直方向依次间隔设置,绕设于至少部分所述埚体,包括加热主体和与加热主体连接的电极安装座;炉体,绕设于多个加热结构外,多个电极,安装于...
该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。