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包括高热导率的砷化硼层的结构体和制造方法技术
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下载包括高热导率的砷化硼层的结构体和制造方法的技术资料
文档序号:45949676
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一种用于微电子应用的结构体(Struct),其沿着延伸平面延伸,包括砷化硼Bas的结晶层(BAs<subgt;lay</subgt;),其具有分别沿着彼此垂直并且在所述延伸平面中的两个方向的两个维度,每个维度至少为2cm。...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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