下载包括高热导率的砷化硼层的结构体和制造方法的技术资料

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一种用于微电子应用的结构体(Struct),其沿着延伸平面延伸,包括砷化硼Bas的结晶层(BAs<subgt;lay</subgt;),其具有分别沿着彼此垂直并且在所述延伸平面中的两个方向的两个维度,每个维度至少为2cm。...
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