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本发明提供了一种高光功率的MEMS红外光源及制作工艺，涉及MEMS红外光源技术领域。本发明基于MEMS加工工艺，通过对光源电极进行三维折叠结构设计，不仅提高了光源的光功率，增强了光源的红外辐射强度，同时保持了MEMS红外光源微型化的优势。本...
该专利属于无锡玻色传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡玻色传感科技有限公司授权不得商用。

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