一种高光功率的MEMS红外光源及制作工艺制造技术

本发明专利技术提供了一种高光功率的MEMS红外光源及制作工艺，涉及MEMS红外光源技术领域。本发明专利技术基于MEMS加工工艺，通过对光源电极进行三维折叠结构设计，不仅提高了光源的光功率，增强了光源的红外辐射强度，同时保持了MEMS红外光源微型化的优势。本发明专利技术通过采用三维折叠结构电极设计，有效增加了电极的辐射表面积和电极电阻，使红外辐射更加集中，使得在相同输入功率下能够产生更强的红外辐射，从而大幅提升光源的光功率输出，解决了传统MEMS红外光源辐射强度不足的问题。本发明专利技术三维折叠结构的设计在提升性能的同时，保持了光源的微型化特性，使其能够完美适配集成化气体传感器的紧凑空间要求，为下一代高性能微型气体传感器的开发提供了关键技术支持。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及mems红外光源，具体地说是涉及一种高光功率的mems红外光源及制作工艺。

技术介绍

1、近年来，随着微机电系统(mems)技术的快速发展，微型化mems红外光源因其结构紧凑、功耗低、集成度高等优势，逐渐成为传统激光光源的潜在替代方案之一。这类光源通常采用微米级薄膜加热结构，通过电阻加热使其工作温度达到数百摄氏度，从而辐射出宽谱红外光。然而，由于mems红外光源的固有特性，其发射光功率相对较低，导致基于光声光谱(pas)技术的气体检测系统所获得的光声信号幅值较弱，这在一定程度上限制了传感器的检测灵敏度和信噪比(snr)。

2、为了提升光声信号的强度，现有技术主要采取以下两种优化策略：其一，在mems红外光源的辐射表面沉积高辐射率材料(如黑体涂层)或构建纳米级表面结构(如等离子体增强层)，以提高其红外发射效率；其二，利用光声信号的幅值与调制频率的反比关系，通过将光源的调制频率降低至20hz以下，从而增强信号输出。然而，尽管上述方法能够在一定程度上改善信号质量，但由于mems红外光源的光功率固有局限性，现有技术仍难以完全满足高精度气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

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6.根据权利要求1所述的一种高光功率的MEMS红外光源，其特征在于：

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【技术特征摘要】

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2.根据权利要求1所述的一种高光功率的mems红外光源，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的一种高光功率的mems红外光源，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的一种高光功率的mems红外光源，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的一种高光功率的mems红外光源，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的一种高光功率的...

【专利技术属性】
技术研发人员：何昱辰，孙玺童，智文轩，王曙东，李运甲，
申请(专利权)人：无锡玻色传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：