下载一种无底切的铜蚀刻液的技术资料

文档序号:45947183

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于金属蚀刻技术领域,具体公开了一种无底切的铜蚀刻液,按重量百分比计,包括以下组分:10‑22%过氧化氢、1‑5%螯合剂、0.02‑0.5%缓蚀剂、0.05‑1%表面活性剂、1‑4%pH调节剂、0.1‑0.5%增溶剂,余量为去离子水;...
该专利属于合肥中聚和成光电材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥中聚和成光电材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。