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本技术涉及一种智能单片刷洗清洗机，包括依次设置的上料机构、喷淋清洗机构、刷洗机构、甩干机构及下料机构。该智能单片刷洗清洗机及晶圆片清洗方法通过特殊设计的上料机构、喷淋清洗机构、刷洗机构、甩干机构及下料机构相配合，能够尽可能地减少与晶圆片表面...
该专利属于江苏西米半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏西米半导体有限公司授权不得商用。

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