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一种大功率电晕预电离准分子激光器制造技术
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文档序号:45944657
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本发明公开了一种大功率电晕预电离准分子激光器,壳体内设有激光器放电腔,激光放电腔内设有主放电电极,主放电电极包括主放电阴极以及主放电阳极,激光器放电腔内并位于主放电阴极一侧间隔设有能对工作气体进行放电预电离的电晕棒,电晕棒包括预电离电极和陶...
该专利属于深圳盛方科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳盛方科技有限公司授权不得商用。
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