【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术涉及一种大功率电晕预电离准分子激光器。
技术介绍
0、
技术介绍
1、准分子激光器具有波长短、高输出能量和高重复率的特点，已被广泛应用于光学光刻、激光退火、大气成分监测以及电化学微加工领域。通常，准分子激光器的工作气体是惰性气体与卤素气体的混合物，准分子激光器通过高压放电激励惰性气体与卤素气体的混合物，形成激发态准分子，当其解离回基态时释放高能紫外光子，实现激光输出。
2、为了提高准分子激光器的输出功率，一般会增加工作气体的压力，随着压力的增加，工作气体的流注击穿容易转变为电弧放电，而电弧放电会导致放电均匀性破坏、工作气体介质污染以及激光能量下降。为了避免发生电弧放电，准分子激光器一般需要对工作气体进行预电离，以在放电区域产生足够浓度的初始电子分布，这些初始电子产生均匀重叠的电子雪崩，可以实现电场强度的横向均匀分布，进而达到防止电弧放电的目的。对于大功率准分子激光器而言，其主放电电极宽度大、放电间距大、放电区域体积大，能否在大放电区域提供足够的初始电子密度是大功率准分子激光器预电离系统的关键指标。...
【技术保护点】
1.一种大功率电晕预电离准分子激光器，其特征在于：包括壳体(100)，所述的壳体(100)内设有充装工作气体的激光器放电腔(1)，所述的激光放电腔(1)内设有一对能对工作气体进行放电激励以产生激光的主放电电极，所述的主放电电极包括长条形的主放电阴极(21)以及与主放电阴极(21)间隔的长条形的主放电阳极(22)，所述的激光器放电腔(1)内并位于主放电阴极(21)一侧间隔设有能对工作气体进行放电预电离的电晕棒(3)，所述的电晕棒(3)包括预电离电极(31)和套设包裹在预电离电极(31)外的陶瓷绝缘体(32)，所述的陶瓷绝缘体(32)外周面与主放电阴极(21)外侧壁及绝缘...
【技术特征摘要】
1.一种大功率电晕预电离准分子激光器，其特征在于：包括壳体(100)，所述的壳体(100)内设有充装工作气体的激光器放电腔(1)，所述的激光放电腔(1)内设有一对能对工作气体进行放电激励以产生激光的主放电电极，所述的主放电电极包括长条形的主放电阴极(21)以及与主放电阴极(21)间隔的长条形的主放电阳极(22)，所述的激光器放电腔(1)内并位于主放电阴极(21)一侧间隔设有能对工作气体进行放电预电离的电晕棒(3)，所述的电晕棒(3)包括预电离电极(31)和套设包裹在预电离电极(31)外的陶瓷绝缘体(32)，所述的陶瓷绝缘体(32)外周面与主放电阴极(21)外侧壁及绝缘腔体(11)内侧壁之间具有间隙，所述的预电离电极(31)和主放电阳极(22)接地，所述的主放电阴极(21)接负高压脉冲，准分子激光器工作时，所述的电晕棒(3)的驱动电压脉冲与主放电电极的驱动电压脉冲相同。
2.根据权利要求1所述的大功率电晕预电离准分子激光器，其特征在于：所述的工作气体为ne、xe、hcl三者混合而成的气体混合物，气体压力为0.35mpa。
3.根据权利要求1或2所述的大功率电晕预电离准分子激光器，其特征在于：所述的电晕棒(3)有两根并对称设在主放电阴极(21)两侧与主放电阴极(21)平行。
4.根据权利要求3所述的大功率电晕预电离准分子激光器，其特征在于：两个电晕棒(3)纵截面圆心连线(l)穿过主放电阴极(21)同一纵截面上直线(21a)与弧线(21b)相接...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨礼昭，
申请(专利权)人：深圳盛方科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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