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本发明涉及电涡流传感器技术领域,提出了一种数字信号处理电路、方法及电涡流位移传感器装置,以及采用本发明信号处理方法的在宽温度范围下减小差分式电涡流传感器温度漂移的装置,具体利用差分式探头的设计抵消系统的中被测金属、线圈、电缆的温度漂移,利用...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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