温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明系关于一种制造装置(10)的方法，该装置(10)包括在沉积设备(40)中沉积在单晶蓝宝石基板(20)的表面(22)上的一种或多种半导体材料的非孪晶外延层(30)。此外，本发明系关于一种装置(10)，包括沉积在单晶蓝宝石基板(20)的表...该专利属于马克斯·普朗克科学促进学会所有，仅供学习研究参考，未经过马克斯·普朗克科学促进学会授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明系关于一种制造装置(10)的方法，该装置(10)包括在沉积设备(40)中沉积在单晶蓝宝石基板(20)的表面(22)上的一种或多种半导体材料的非孪晶外延层(30)。此外，本发明系关于一种装置(10)，包括沉积在单晶蓝宝石基板(20)的表...